محسن ملازاده  79161209

چکيده

در اين پايان نامه, پيوند ويفرها به روش Eutectic توسط آلومينيوم مورد بررسی قرار گرفت. پيوند Eutectic پيوندی است که لايه ميانی با سيليکان آلياژ تشکيل می دهد و باعث می شود که سطح دو ويفر به هم پيوند بخورند.در بيشتر حالتها ويفرهايی که بايد به هم پيوند يابند, مواد بلوری مثل سيليکان يا گاليم آرسنايد هستند که در ميکروالکترونيک يا اپتوالکترونيک کاربرد دارند.
در فرايند انجام شده, ويفرهای سيليکان با طی مراحلی به دقت شسته شده و پس از خشک کردن با گاز آرگون, آلومينيوم روی آنها نشانده می شود. سپس ويفرها تحت يک عمليات گرمايی تحت فشار قرار می گيرند تا پيوند بين آنها محکم و دائمی شود. اگر دما و يا ميزان فشار به اندازه کافی نباشد ممکن است پيوند انجام نشود يا کيفيت پايينی داشته باشد.
در ادامه انواع ديگر پيوند توضيح داده شده و در انتها تمامی روشها با هم مقايسه شده اند.